Instrument och Metoder

Forskningsutrustning och labverksamhet är indelad i tre enheter med ett antal discipliner i varje:

Materialanalys
•    Elektronmikroskopi och FIB
•    Kemisk Analys
•    Metrologi och Ytkarakterisering

Materialsyntes
•    Högtemperaturprocessning
•    Tunnfilmsdeponering
•    Backend-processning

Mikro- / Nanostrukturering
•    Litografi
•    Våtkemisk Processning
•    Torretsning

En utrustningslista och tillgängliga processer / metoder finns i Myfab LIMS.