Instrument och Metoder
Forskningsutrustning och labverksamhet är indelad i tre enheter med ett antal discipliner i varje:
Materialanalys
• Elektronmikroskopi och FIB
• Kemisk Analys
• Metrologi och Ytkarakterisering
Materialsyntes
• Högtemperaturprocessning
• Tunnfilmsdeponering
• Backend-processning
Mikro- / Nanostrukturering
• Litografi
• Våtkemisk Processning
• Torretsning
En utrustningslista och tillgängliga processer / metoder finns i Myfab LIMS.
Senast uppdaterad: 2023-06-26