Mikro- / Nanofabrikation (allmänt)

Mer avancerade processtjänster, som typiskt kan inkludera ett eller fler mönstringssteg, kräver mer omfattande förberedelser och projektplanering. Ett projekt kan sträcka sig från design, via tillverkning till utvärdering. Med egen masktillverkning samt både optisk och elektronstråle-litografi kan strukturer med dimensioner från något tiotal nm produceras. Standardmaterialet är kisel, som används för hela konstruktionen eller endast som bärare.

Kontakt:   Örjan Vallin
                 orjan.vallin@angstrom.uu.se
                 070 167 9348